产品介绍:
高性能双CCD 2000,000(像素)高测定精度相机, 配有两个C-ADC直径自动控制程序,直径控制至±0.5mm精度,更省硅原料;自带显示器,实现全程监视。
从Vacuum→Leak check→Melt→Stabilize→Neck→Crown→Shoulder→Body→Tail→Shutdown,在Melt/Stabilize具备功率/温度切换控制功能。氩气亦可自动控制。
多种安全保障措施和安全装置:具有电源安全保护装置,炉体水温报警系统, 冷却水压力显示(报警),炉压异常报警系统, 炉盖采用浮动设计,自动泄压。
单晶炉的软件数据可相互之间复制,方便保存或复制软件与工艺数据到多台单晶炉,大大地节省了复杂的每台机拉晶数据调试时间与昂贵试机费用,确保了单晶炉拉晶过程中的稳定性、保证产品质量的一致性。
炉子腔体内外层分别采用SUS316L和304L不锈钢,双层水冷式结构真空旋转轴是独有特殊设计的大型磁流体装置,更耐压、耐用.炉腔法兰为整体锻造件密封圈全部采用高品质进口件。
单晶炉自动运行过程中的电压/电流/功率/温度/晶棒直径/埚升和埚转速度/晶升和晶转速度及报警等全部数据及其变化的过程均自动以电子文档的形式保存PC内,可保存几年的拉晶数据(根据硬盘容量),便于拉晶结束后分析参数并完善工序参数,实现生产档案管理。
加装了独有开发的UPS系统,在外部停电时,单晶炉整机(加热器除外)能维持5-30分钟应急动作,使操作员有足够时间应对故障。