| 产品介绍:
QK-CZ80型软轴提拉型单晶炉
QK-CZ80 Monocrystalline Silicon Furnace
机械特点
籽晶提拉及旋转部件:实现了籽晶轴较高转速时的系统平稳性；籽晶轴旋转及提拉密封均采用高品质的磁流体密封组件，无泄露，长期使用不需充磁；精密花键轴及各驱动直流伺服电机均为进口件，确保系统具有很高的可靠性。提拉头经过严格的静平衡和动平衡测试，高速旋转下籽晶晃动小于2mm，适应半导体工艺需求。
坩埚升降及旋转部件:使用超大铸铁立柱、双滚动直线导航、精密滚珠丝杠以及进口精密减速器等功能件完美组合设计，确保坩埚系统在超重超低速工况下长期平稳运行。
浮动式翻板阀设在主副炉室之间，可在热场维持工艺温度的情况下，取出晶体，更换籽晶和补充加料进行连续拉晶。
液压传动装置能准确的完成主炉室和副炉室的开启，炉室、副炉室上升到位后对称旋出，保证主机稳定可靠，并便于机动取出晶体，拆装热场系统和清理炉内各部。
炉体部件采用316L不锈钢，法兰整体锻造，经过振动消除应力、缺陷检查和探伤检验及氦质朴检漏仪检漏。
电气特点
(1)本系统采用PLC，工业彩色触摸屏，因此系统结构简单，具有用电省, 发热小的特点。系统可靠性很高，不会死机。同时触摸屏和PLC间工作独立，连接仅仅使用1根通讯线即可。
(2) 控制软件
系统能按照工艺员写入的工艺文件，进行半自动拉晶，可以在显示器上修改，立即生效，操作方便。自动工艺可以单步执行也可以连续自动流程。在温度闭环上增加功率限制，信号故障判断诊断功能，可以排除观察孔污染，信号被干扰，加热电源故障，加热器短路，加热器电阻突变，人工输入失误等错误。
(3) 工作站监控系统
本系统还配置有工作站监控系统，用一台PC机可同时监控8台单晶炉，采用RS422高速通讯，光电隔离，可靠性高。
(4) 电气硬件设置
本系统的电气柜内布局采用模块化集中管理，各个模块间连接简单，单个模块可以带电独立维修，电机保护采用空气开关和保险丝结合的方法便于操作和维护。同时主要的电气点都能简单的在端子板上查出。整个机箱布局合理，简单。同时带有双色声光报警灯进行提示。
技术参数
1、电源电压：380VAC±5%
2、电源频率：50HZ
3、电源相数：3相3线制
4、变压器容量：190KVA
5、加热器最大加热功率：140KW
6、最高加热温度：1600℃
7、加热器最高加热电压：60V
8、冷炉极限真空度：＜3Pa
9、晶体直径：￠6〞～￠8〞
10、熔料量 ：60Kg
11、主炉室尺寸：φ800×1080mm
上炉室尺寸：φ800×800mm
下炉室尺寸：φ800×280mm
12、翻板阀通径：φ260mm
13、封头炉盖高度：380mm
14、副炉室尺寸：φ260×2200
15、籽晶转速范围：1～40rpm
16、籽晶拉速范围：0.2～8mm/min
17、籽晶快速：≥200mm/min
18、籽晶在炉内有效行程：3000mm
19、籽晶在副室内有效行程：1800mm
20、坩埚升速范围：0.02～1mm/min
21、坩埚快速：≥80mm/min
22、坩埚在炉内有效行程：400mm
23、坩埚转速范围：1～30rpm
24、两个电极孔孔距：430mm
25、主炉室泵：2H-70A
26、副室泵：2X-8
27、籽晶夹头选用圆柱形或方形
28、耗水量：18m3/h
29、主机占地面积：2500x2000mm
30、主机最大高度：6500mm
31、主机重量：约7000Kg |
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